实现原子级精确控制的分子束外延设备
为分子束外延设备提供Ga、In、Mg、Si、As、Sb、P、N2、O2等各种源炉
用于制造高品质金刚石薄膜的先进设备
用于生长III-V族化合物半导体的高端设备
MOCVD系统能实现反应源精确输送与摩尔数控制
外延温度大于1250C,用于制造高AL组分的材料
紫外LED的发光波长短到260nm
用于制备第四代氧化镓半导体材料应用
良好的氧化镓外延材料的性能
2009年广东昭信企业集团与华中科技大学武汉光电国家实验室技术团队联合成立"广东昭信半导体装备制造有限公司"。 2018年企业重组更名为"广东众元半导体科技有限公司"。 公司坐落于佛山南海金谷光电产业社区,设有研发中心、配件加工车间、设备组装调试超净车间、CVD工艺开发实验室。拥有完善的研发试验条件、检测设备及其他辅助仪器。公司建立和培育了一支结构合理、综合素质高的多学科交叉的技术人才队伍,能为客户提供半导体薄膜与器件制造一体化解决方案,可以为企业、高校、科研院所提供各种非标定制装备和技术服务,助力新产品生产和科研项目攻关。
产品矩阵: MOCVD系列、 MBE真空互联、 MPCVD与金刚石